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潔凈室的定義與測試規范概述

更新時間:2021-09-13點擊次數:3033

          潔凈室的定義與測試規范概述

        凈潔凈室的定義,早是在美國聯邦標準209上出現,之后日漸普及并廣為半導體業與制藥業接受。到了90年代后期,產業界體認到若是無共同標準,就不能實現經濟的化,于是有ISO-14644的產生。以下說明潔凈室的各種標準與規范。

  Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美國聯邦標準209E,209的出版發行,是在1960年代,之后不斷改版以因應科技與工業發展,版本從原始的209、209A,一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日,美國正式宣布廢止209E,改用ISO-14644,于是209E在書面上走入歷史。但是在產業界,除了部份的歐洲公司之外,美國、日本、中國臺灣、與中國大陸,都還沿用209E。

  ISO-14644系列;美國政府為了推動經濟化,就很大方的放棄了自己的209E,改而推行全部使用公制的標準ISO-14644。14644系列有8個子題,稱為14644-1,14644-2,一直到14644-9。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規范、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其它的有關設備等,范圍很廣。

  JIS B9920 (1989):日本的潔凈標準,規定潔凈室中浮游粒子的濃度測定方式,及潔凈度的等級定義。

  VDI 2083 (1993):德國的潔凈標準,規定潔凈度等級的定義方式,以及潔凈度的量測技術。

  Gost-R 50766 (1995):的潔凈標準,定義潔凈室的分類與一般需求。

  以上是潔凈室等級規定,與潔凈度量測的相關標準。另外有關潔凈室污染控制(也就是潔凈度控制),和環境控制(如溫濕度、震動噪音等),也有一些重要的測試規范,因為這些環境影響因素,都包含在潔凈室性能測試的范圍之內。

  IEST-RP-CC-006.2:這本有名的測試規范,目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測,006 包括了風速風量、濾網泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006 的*版稱為006-84-T,006.2是第二版?,F在由于 NEBB 的興起,0062已經功成身退,逐漸消失了。

  NEBB 潔凈室測試規范第二版:這是目前廣為流行的測試規范,提到潔凈室認證,就非 NEBB 莫屬。NEBB 潔凈室測試規范,可說是IEST-0062的改良版,其測試涵蓋范圍差不多,但是測試程序更為清楚嚴謹,儀器使用也有詳細規定。因此 NEBB 潔凈室測試規范的出現,解決了不少測試的爭議,也因此 NEBB 潔凈室測試規范成功的成為產業標準。

  

  每一種行業,甚至每公司或工廠,對潔凈室的要求可能都不一樣。

 

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